奥美特集成电路引线框架压板选择性电镀设备及模具

发布时间：

2022-07-13 13:42

一、选择性电镀技术的发展历程概述

　　在IC引线框架镀层发展初期，产品一般都是全镀金，但随着市场对Lead Frame(引线框架)需求产量的增加，相对成本很高，以至于有很多中小型公司难以接受。到了70年代初期，有部分公司开始采用全镀银技术代替镀金，再到70年代后期，开始有部分日本公司采用局部镀银，也就是我们目前的选择性电镀，由于这一方式可以节约贵金属的用量，因此在半导体材料行业应用广泛，发展较快，并一直延续到现在。

　　选择性电镀发展初期主要是液面控制法，但此种方式有其局限性，只能针对特定结构的产品进行一端电镀，当有两端不需要电镀，只有中间位置需要电镀时就难以做到。后期随着高速电镀技术和工艺成熟，开始出现用专用的掩模来进行不同区域的电镀，即选择性电镀模具(Selective Plating Tool)，采用此种方式使得电镀位置变得灵活，只要在想要电镀的位置设计模具开口，让镀液喷射，即可进行有效的电镀，压板式选择电镀便从此逐渐发展开来，经过近30多年的发展，选择性电镀技术目前已在IC材料行业大量运用，而且同时也出现了一批集设计、研发和生产相应电镀设备的专业公司，比较著名的有瑞士的EESA公司，荷兰的MECO公司等，尤其MECO公司近年来基本都转型太阳能电池电镀和环保行业，这部分市场空白给东莞奥美特科技带来了前所未有的机会，东莞奥美特科技通过20多年的沉淀和技术积累，加上近年来不断加大的研发投入，前后推出了一系列国内外细分行业领先的产品。其中片式及连续式压板设备便是其中之一，该设备对应的压板模具，与对应设备一样亦是领先国内外同行，并逐渐与其拉开差距。

　　东莞奥美特科技聚焦于半导体及集成电路生产制造专用湿制程装备，致力于该行业智能装备的国产化替代，致力于能够在解决卡脖子关键技术方面做出我们的贡献。

二、压板式选择电镀的原理和模具基本结构

　　所谓压板式选择性电镀就是我们通常说的平板点式喷镀法，此种电镀方法就是在一定长度的掩模开口装置内，用硅橡胶结构压板，将引线框架夹紧，电镀模具掩模开口处安装阳极喷嘴，使镀液高速喷出，这样可减少扩散层厚度，以达到高速电镀的目的。此方法电镀范围的精度高，模具成本较低，应用广泛，不但可适用于连续电镀，也可应用于短尺寸间歇片式独立电镀，但其行片速度较低，一般为2.0-3.0m/min.，比较适合中小批量生产，且装置的灵活性比较高，容易调试。平板点式喷镀法组成结构如图1-1所示：

图 1-1 压板式选择电镀组成示意图

2.1压板模具的基本结构及成品

2.2压板模具可实现的产品及应用

压板模具可实现所有类型和结构的引线框架电镀要求，属于机械式选择电镀类别中包容性最大的一类，且静态电镀的精度远远高于动态电镀，因此更多的场合是被引线框架厂家用于产品结构更弱，密度和精度要求更高的QFN产品的选择性电镀。

三、奥美特片式压板设备的参数和特点

　　奥美特科技压板设备有四个通道，按左右两边分开操作，一边操作两条线，镀银部单边错位排布，相互不干扰，电镀模具转换方便，不需要停下旁边的线。镀银部采用内腔回流模式，没有镀液飞溅和蒸汽产生，可减少贵金属飞溅渗漏风险，且操作更安全可靠，镀银部装有可视气压表，可按产品不同自由调节压力。

3.1设备基本参数

　　设备全长度约34m，宽度1.8m(不包含过滤桶摆放尺寸)，高度2.8m,包含顶部排气管道，线槽等。速度：0.2-2.0m/min，正常生产速度1.0m/min，电镀公差能力: +/-0.075mm;片式压板设备可电镀材料及类型，铜合金A194、C7025，铁镍合金Alloy 42等　(蚀刻高密度引线框架)，可电镀产品类型QFN、DFN(Package　Size2.5x2.5-12x12)、Ring、Double　Ring　Plating，其他类型的IC产品如SOP、QFP、SOT、DIP等等。

3.2设备外观及核心技术展示

　　奥美特科技首次解决了隧道式运行的技术难点和操作调节不便的问题，避免了日本、韩国设备滚轮式导致的镀银面刮花，污染等问题。

奥美特科技从2002年首次在国内开发研制压板电镀设备，通过20多年的技术沉淀和持续改进，同时也结合了客户的一些特殊要求，使得我们的设备结构设计更合理，功能更可靠，操作也更加人性化。

　　近年来，奥美特科技已经为多家国内外头部的引线框架企业提供电镀设备、选择性电镀模具以及专业的售后服务，我们的选择性模具产品远销东南亚和中国台湾地区，进一步帮助我们的合作伙伴发展和成长，使他们在电镀能力的提升上甚至超过了日韩同行，大大提高了客户在行业内的竞争实力，客户对我们产品的一致认可和肯定，也为奥美特科技的设备与模具的研发提供了源源不断的动力。奥美特科技坚信：最合理的设计、最优的价格、最好的品质和最快的交期，一定会让我们在为客户创造更高价值的同时，助力我们在行业脱颖而出。

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